插板閥常被用來保護高真空幫浦,也可被用來輸送、連結真空腔體。
新一代的插板閥-SMART是新款的機械設計,在減少震動的部分也有更好的表現。
SMART
無震自動軌傳輸機械裝置
Manual Lever SMART Gate Valves, UHV, CF Flange
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVML-UHV-CF600
4"
1
152
84
130
M8
358
170
182
85
273
130
SGVML-UHV-CF800
6"
1
202
93
181
M8
495
234
250
117
378
150
SGVML-UHV-CF1000
8"
1
253
97
232
M8
683
316
334
158
525
180
SGVML-UHV-CF1200
10"
1
304
120
284
M8
781
368
390
184
597
200
Pneumatic SMART Gate Valves, UHV, CF Flange
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVP-UHV-CF600
4"
2
152
84
130
M8
358
170
182
85
273
140
SGVP-UHV-CF800
6"
2
202
93
181
M8
495
234
250
117
378
160
SGVP-UHV-CF1000
8"
2
253
97
232
M8
683
316
334
158
525
185
SGVP-UHV-CF1200
10"
2
304
120
284
M8
781
368
390
184
597
215
Manual Lever SMART Gate Valves, HV, CF Flange
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVML-HV-CF600
4"
1
152
84
130
M8
358
170
182
85
273
119
SGVML-HV-CF800
6"
1
202
93
181
M8
495
234
250
117
378
138
SGVML-HV-CF1000
8"
1
253
97
232
M8
683
316
334
158
525
169
SGVML-HV-CF1200
10"
1
304
120
284
M8
781
368
390
184
597
186
Pneumatic SMART Gate Valve, HV, CF Flange
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVP-HV-CF600
4"
2
152
84
130
M8
358
170
182
85
273
131
SGVP-HV-CF800
6"
2
202
93
181
M8
495
234
250
117
378
151
SGVP-HV-CF1000
8"
2
253
97
232
M8
683
316
334
158
525
174
SGVP-HV-CF1200
10"
2
304
120
284
M8
781
368
390
184
597
202
Manual Lever SMART Gate Valves, HV, ISO-F Flange
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVML-HV-ISOF100T
4"
1
165
70
145
M8
358
170
182
85
273
119
SGVML-HV-ISOF160T
6"
1
225
80
200
M10
495
234
250
117
378
138
SGVML-HV-ISOF200T
8"
1
285
80
260
M10
683
316
334
158
525
169
SGVML-HV-ISOF250T
10"
1
335
100
310
M10
781
368
390
184
597
186
Pneumatic SMART Gate Valves, HV, ISO-F Falnge
Catalog PN
Tube OD
Figure
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
SGVP-HV-ISOF100T
4"
2
165
70
145
M8
358
170
182
85
273
131
SGVP-HV-ISOF160T
6"
2
225
80
200
M10
495
234
250
117
378
151
SGVP-HV-ISOF200T
8"
2
285
80
260
M10
683
316
334
158
525
174
SGVP-HV-ISOF250T
10"
2
335
100
310
M10
781
368
390
184
597
202
SGVP-HV-ISOF320T
12"
2
425
120
395
M12
960
450
478
225
735
224
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